1、系統誤差也叫可測誤差，一般包括直讀光譜儀儀器的本身波動；樣品的給定值和實際值存在一定的偏差；待測樣品和系列標樣之間存在成分的差異，可能導致在蒸發、解離過程中的誤差，如背景強度的差別和基體蒸發的差異等。

2、偶然誤差是一種無規律性的誤差，如試樣不均勻；檢測時周圍的溫濕度、電源電壓等的變化；樣品本身的成分差異等。

3、過失誤差是指分析人員工作中的操作失誤所得到的結果，可以避免。如制樣不精，樣品前處理不符合要求，控樣和待測試樣存在制樣偏差，選擇了錯誤的分析程序等。